半导体设备数据Handshake

本文主要是结合自己在实际工作中的经验从系统的角度总结一下半导体设备的类型:

  <1>:图一 设备主要是中小型Inline设备，设备的Substract 的传递是透过PLC 信号的HandShake 来传递，Process Data 的上报也是透过PLC

 <2>：图二 为中大型设备在Inline 线的模型，Substract 的传递也是透过PLC 的Handshake ，Process  Data的上报是透过SECS 上报

<3>:图三为StandAlone 机台模型，HandShake 与Process Data 的上报都是透过 PLC，一般为中小型设备

<4>::图四为 StandAlone 机台模型，HandShake 是透过PLC，ProcessData 的上报是透过SECS

  PLC  信号HandShake 

 CNF： connect Forward    向上游机台传递 singnal  一般由32个bit 组成

 CNB:  Connect Backward 向下游机台传递 Singnal 一般由32个bit 和64个Word组成

CNF 一般与CNB 成对出现！ 32 个bit  的ON/OFF用于表述事件的发生或结束，64个Word用于上游向下游传递资料！

CF PLC 设备比Array 和Cell 复杂的原因在与 CF 的 32 个bit 中有 很多suspend  stop 的 singnal，且64个Word中有DMQC/Rework /Scrap 等的Flag

 下游机台根据recipe 和Flag 觉定是否要bypass 或是用 哪个receip跑货！