WLP的工艺流程与成膜/加工技术

2023-12-08 12:10

本文主要是介绍WLP的工艺流程与成膜/加工技术,希望对大家解决编程问题提供一定的参考价值,需要的开发者们随着小编来一起学习吧!

WLP的工艺流程

    1. 再配线层(RDL)第一层
      1. 再配线层(RDL)第一层
    1. Photolitho Via形成
      为了提高Seed层的铜和镀铜的接触特性而进行Descum
      2. Photolitho Via形成

Photolitho Via形成是利用光刻技术制作孔洞的过程,这些孔洞将作为后续工艺中金属填充的通道。通过在光敏胶层上照射光线,并使用掩膜来控制照射的区域,从而在胶层上形成所需的图案。之后,通过显影液处理,将未被光照射的胶层去除,从而形成孔洞。这些孔洞将作为种子层(Seed layer)与外部电路连接的通道。

    1. Cu Pillar作成
      Cu formation by plating

Cu Pillar是一种新一代的芯片互连技术,用于集成电路封装工艺过程芯片和基板的连接。这项技术最早是由Intel于2006年应用于其65nm制

这篇关于WLP的工艺流程与成膜/加工技术的文章就介绍到这儿,希望我们推荐的文章对编程师们有所帮助!



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